株式会社カナメックス

カナメックスの洗浄機の特徴

半導体製造工程における洗浄に定評

株式会社カナメックスは半導体製造プロセスの技術力に定評があります。近年、半導体ウエハーはますます小型化、薄型化しており、繊細な洗浄作業が求められます。カナメックスのウエハー洗浄装置は、半導体製造工程を熟知したノウハウを基に設計されており、高品質な洗浄能力を実現します。

アルカリ性洗浄剤にも対応

カナメックスの洗浄機はアルカリ性洗浄剤にも対応しています。界面活性剤に珪酸塩、リン酸塩、炭酸塩のほか、キレート剤などの有機物を混合したものがアルカリ性洗浄剤とされています。アルカリ性洗浄剤は、シリコンウエハーの洗浄や脱脂、鉄・マグネシウムの洗浄などに用いられます。

どのような企業に推奨される洗浄機か

株式会社カナメックスはエレクトロニクス機器、とくにシリコンウエハーに代表されるデバイス基盤の洗浄を得意としています。デバイス基盤はこれまで以上に薄型化、高機能化しており、精密な製造プロセスを要求される工業部品を製造する企業に推奨されます。

チェック

精密部品洗浄機はどう選ぶべき？

人手不足などが深刻となっている製造現場において、業務効率の改善と生産性の向上は喫緊の課題。

これから精密部品洗浄機の入れ替えや新規購入を検討する際は、洗浄する部品や部品サイズが対応しているかどうか、「自動車部品」「医療機器部品」のように自社の業界に対応できる特徴を持っているか、この2つを軸に選ぶことをおすすめします。

下記ページでは精密部品洗浄機の需要が比較的高い「自動車」「半導体」「医療機器」に着目し、それぞれの業界に適した精密部品洗浄機を紹介しています。導入を検討している方は下記のボタンから特集ページにお進みください。

おすすめの精密部品洗浄機
3選をチェック！

カナメックスの主な洗浄機

WSC-A200WR

引用元：株式会社カナメックス公式ホームページ
http://www.kanamex.co.jp/cleaner.html

研磨後洗浄のスタンダードモデル

研磨したウエハーには、機械加工特有のスラリや加工油などの付着物がついています。このモデルは水系洗浄剤で分離除去した後、洗浄剤を含むすべての物質を水で洗い流して、固着を防止します。この方法は研磨後洗浄のスタンダードなプロセスとされています。

高生産性×環境性能をチェック

洗浄力	高い洗浄力
洗浄スピード	公式サイトに記載なし
生産ラインの自動化	単体運用可能
本体サイズ	公式サイトに記載なし
洗浄液	水系洗浄剤
排水	公式サイトに記載なし
操作性	操作パネルあり
対象ワーク	ウエハーなど

このページで紹介した精密部品洗浄機以外にも、本サイトでは業界別(「自動車部品」「半導体部品」「医療機器部品」)におすすめの精密部品洗浄機を紹介しています。
精密部品洗浄機の導入を検討している方は下記のボタンから特集ページにお進みください。

【業界別】おすすめの精密部品洗浄機
3選をチェック！

300㎜モデル「WSC-A300F」

引用元：株式会社カナメックス公式ホームページ
http://www.kanamex.co.jp/cleaner.html

RCA洗浄に対応

シリコンウエハーを洗浄する際の一般的な方法がRCA洗浄です。まずは有機物汚染とパーティクル汚染の除去、つぎに酸化物層の除去、最後にイオン汚染の除去、という順序で洗浄工程が進みます。このモデルはRCA洗浄を含む複数の洗浄用途に対応しています。

高生産性×環境性能をチェック

洗浄力	高い洗浄力
洗浄スピード	公式サイトに記載なし
生産ラインの自動化	単体運用可能
本体サイズ	公式サイトに記載なし
洗浄液	有機物混合溶液
排水	公式サイトに記載なし
操作性	操作パネルあり
対象ワーク	ウエハなど

【業界別】おすすめの精密部品洗浄機
3選をチェック！

開発メーカー：株式会社カナメックスとは

エレクトロニクス産業を支える会社

株式会社カナメックスは半導体、液晶、MEMS（家庭で使うエネルギーを節約するための管理システム）などのエレクトロニクス産業を支える会社です。とくにデバイス基板の研究開発から製造に至るウェット処理プロセスにおける洗浄やエッチングなどにかかわる装置を設計・製作・販売しております。